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离子分子质谱仪的主要用途和送样时注意事项
2021-11-15
离子分子质谱仪工作耐压值高，脉动小、稳定可靠。进样器与整机分体式模式，具有良好的抗干扰性和可拓展性。接头、流路均使用进口Peek材料，耐强酸强碱。连续自动再生电化学抑制器，抑制容量高。高分辨率触摸屏配有WinCE操作系统，以及全中/英文显示的数据处理系统。
离子分子质谱仪的主要用途：
1.掺杂剂与杂质的深度剖析。
2.薄膜的成份及杂质测定。
3.超薄薄膜、浅植入的超高深度辨析率剖析。
4.硅材料整体分析，包含B,C,O,以及N。
5.工艺工具(离子植入)的高精度分析。
6.可以用于材料表面和表层的化学成份分析。化学元素或化合物在表面和块体材料内部的分布。以及生物组织表面和内部成份和分布分析。包括如半导体，生物，冶金，汽车等领域。
离子分子质谱仪送样时注意事项：
1、待测试的样品表面不能被沾污；
2、易潮解，易与空气发生反应的样品，在送样过程中应注意隔离空气；
3、用带盖的玻璃小试管、小容量瓶等容器装样；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的胶带或胶面和纸袋，以免硅树脂或纤维污染样品表面；
4、如为挥发性高分子样品或具挥发性覆膜，务必先自行在真空加热炉中抽除挥发性分子；如果样品置入真空腔后，隔夜无法抽至5X10E-7torr以下，测试将被取消；
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